Triklorosilan

Trichlorosilane (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) adalah cairan tidak berwarna, sangat mudah menguap dengan bau hidrogen klorida yang tajam dan mencekik. Mendidih pada suhu 31,8 derajat dan bereaksi hebat dengan kelembapan, ini adalah bahan baku utama bagi proses Siemens untuk menghasilkan polisilikon dengan kemurnian tinggi untuk sel surya fotovoltaik dan wafer semikonduktor. TCS juga banyak digunakan dalam pertumbuhan wafer epitaksi silikon, sintesis organosilikon (minyak silikon, karet, resin, bahan penghubung), pengendapan film tipis silikon CVD, dan sebagai zat pereduksi selektif dalam sintesis organik. Tersedia dalam kelas industri (Lebih besar dari atau sama dengan 99,0%) dan kelas elektronik (kemurnian hingga 9N). Diklasifikasikan sebagai reaktif terhadap air dan sangat mudah terbakar (UN 1295, Kelas 4.3+2.3, PG I) dengan jangkauan ledakan yang sangat luas yaitu 1,2%–90,5%; tangani hanya dalam kondisi anhidrat ketat dengan perlindungan nitrogen kering.